ISSOFT

북굴절 계측기

PA Series

차세대 파워 반도체 검사 툴

PA Series

pa
pa
pa
pa
pa
pa
  • 유리,광학필름 등 빛이 투과되고 위상차가 낮은(λ/2) 재료의 내부 응력과 배향 구조를 실시간(동영상 가능) 으로 계측할 수 있는 편광 고속도 카메라

  • CCD센서에 직선 편광자가 삽입 되어있어 회전형 편광판 불필요

  • 초고속 편광 이미지 센서 탑재로 타사 장비 대비 1,000배 빠른 측정 가능

  • 기존 계측기의 측정으로는 표현이 어려웠던 다양한 물리적 양과 특성을 시각화 및 정량화 가능

  • 편광 계측에 필요한 휘도 정보를 10,000fps/sec(최대) 습득 가능

출력
  • 위상 이동(nm)※, 축 방향(°) ※데이터 처리 옵션시 응력값[MPa]

반복 재현성
  • PA-300-XL
    낮은 위상차의 경우 초대형 유형
    : α < 0.1nm

  • PA-300L
    낮은 위상차의 경우 큰 유형
    : α < 0.1nm

  • PA-300
    낮은 위상차의 경우 표준 유형
    : α < 0.1nm

  • PA-300-MT
    낮은 위상차의 경우 작은 유형
    : α < 0.1nm

  • PA-micro
    낮은 위상차의 경우 현미경 유형
    : α < 1.0nm

  • PA-micro-S
    낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형
    : 보증 없음

  • WPA-200-NIR
    넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형
    : α < 1nm

  • PA-300-NIR
    낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형
    : α < 1nm

작동 파장
  • PA-300-XL
    낮은 위상차의 경우 초대형 유형
    : 520nm

  • PA-300L
    낮은 위상차의 경우 큰 유형
    : 520nm

  • PA-300
    낮은 위상차의 경우 표준 유형
    : 520nm

  • PA-300-MT
    낮은 위상차의 경우 작은 유형
    : 520nm

  • PA-micro
    낮은 위상차의 경우 현미경 유형
    : 520nm

  • PA-micro-S
    낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형
    : 520nm

  • WPA-200-NIR
    넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형
    : 810nm, 850nm, 880nm

  • PA-300-NIR
    낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형
    : 850nm

측정 범위
  • PA-300-XL
    낮은 위상차의 경우 초대형 유형
    : 0 - 130nm

  • PA-300L
    낮은 위상차의 경우 큰 유형
    : 0 - 130nm

  • PA-300
    낮은 위상차의 경우 표준 유형
    : 0 - 130nm

  • PA-300-MT
    낮은 위상차의 경우 작은 유형
    : 0 - 130nm

  • PA-micro
    낮은 위상차의 경우 현미경 유형
    : 0 - 130nm

  • PA-micro-S
    낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형
    : 보증 없음

  • WPA-200-NIR
    넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형
    : 0 ~ 3500nm ※순수 석영을 측정한 경우

  • PA-300-NIR
    낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형
    : 0 ~ 213nm

해상도
  • PA-300-XL
    낮은 위상차의 경우 초대형 유형
    : 약 500만 화소 (2056x2464 pixels)

  • PA-300L
    낮은 위상차의 경우 큰 유형
    : 약 500만 화소 (2056x2464 pixels)

  • PA-300
    낮은 위상차의 경우 표준 유형
    : 약 500만 화소 (2056x2464 pixels)

  • PA-300-MT
    낮은 위상차의 경우 작은 유형
    : 약 500만 화소 (2056x2464 pixels)

  • PA-micro
    낮은 위상차의 경우 현미경 유형
    : 약 500만 화소 (2056x2464 pixels)

  • PA-micro-S
    낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형
    : 약 500만 화소 (2056x2464 pixels)

  • WPA-200-NIR
    넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형
    : 약 11만 화소 (288x384 pixels)

  • PA-300-NIR
    낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형
    : 약 500만 화소 (2056x2464 pixels)

시야크기 - 표준 렌즈
  • PA-300-XL
    낮은 위상차의 경우 초대형 유형
    : 약 242x290mm ~ 약 360x480mm

  • PA-300L
    낮은 위상차의 경우 큰 유형
    : 약 37x44mm ~ 약 240x320mm

  • PA-300
    낮은 위상차의 경우 표준 유형
    : 약 30x36mm ~ 약 100x133mm

  • PA-300-MT
    낮은 위상차의 경우 작은 유형
    : 약 37x44mm ※설정 조건에 따라 다름

  • PA-micro
    낮은 위상차의 경우 현미경 유형
    : 약 140x170μm ~ 약 3.5x4.2mm (x2, x5, x10, x20, x50)

  • PA-micro-S
    낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형
    : 현미경에 따라 다름

  • WPA-200-NIR
    넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형
    : 약 27x36mm ~ 약 100x133mm

  • PA-300-NIR
    낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형
    : 약 30x36mm ~ 약 100x133mm

시야크기 - 줌 렌즈
  • PA-300-XL
    낮은 위상차의 경우 초대형 유형
    : 비지원

  • PA-300L
    낮은 위상차의 경우 큰 유형
    : 약 5.5x6.6mm ~ 약 25x30mm

  • PA-300
    낮은 위상차의 경우 표준 유형
    : 약 5.5x6.6mm ~ 약 25x30mm

  • PA-300-MT
    낮은 위상차의 경우 작은 유형
    : 약 7.0x8.4mm ~ 약 20.0x24.0mm

  • PA-micro
    낮은 위상차의 경우 현미경 유형
    : 약 70x80μm (x100은 선택 사항입니다)

  • PA-micro-S
    낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형
    : 현미경에 따라 다름

  • WPA-200-NIR
    넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형
    : 약 3.0x4.0mm ~ 약 14.2x19.0mm

  • PA-300-NIR
    낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형
    : 약 5.5x6.6mm ~ 약 25x30mm

본체 지수(WXDXH)-무게
  • PA-300-XL
    낮은 위상차의 경우 초대형 유형
    : 650×650×최대1930mm 약46kg

  • PA-300L
    낮은 위상차의 경우 큰 유형
    : 430×487×최대1166mm 약23kg

  • PA-300
    낮은 위상차의 경우 표준 유형
    : 270×337×최대631mm 약12kg

  • PA-300-MT
    낮은 위상차의 경우 작은 유형
    : 160×190×316mm 약4kg ※설정 조건에 따라 다름

  • PA-micro
    낮은 위상차의 경우 현미경 유형
    : 270×500×610mm 약18kg

  • PA-micro-S
    낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형
    : 60×70×85mm 약 0.5kg

  • WPA-200-NIR
    넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형
    : 270×337×최대631mm 약 13kg

  • PA-300-NIR
    낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형
    : 270×337×최대631mm 약 12kg

제품 내용
  • 제품 본체(PA-micro는 현미경 포함,PA-micro-S는 현미경을 포함하지 않습니다.), 조작용 PC, 소프트웨어(PA-View), 사용설명서

옵션 - 줌 렌즈
  • PA-300-XL
    낮은 위상차의 경우 초대형 유형
    : x

  • PA-300L
    낮은 위상차의 경우 큰 유형
    : O

  • PA-300
    낮은 위상차의 경우 표준 유형
    : O

  • PA-300-MT
    낮은 위상차의 경우 작은 유형
    : O

  • PA-micro
    낮은 위상차의 경우 현미경 유형
    : 대물렌즈X100

  • PA-micro-S
    낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형
    :

  • WPA-200-NIR
    넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형
    : O

  • PA-300-NIR
    낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형
    : O

옵션 - 데이터 처리 기능
  • PA-300-XL
    낮은 위상차의 경우 초대형 유형
    : O

  • PA-300L
    낮은 위상차의 경우 큰 유형
    : O

  • PA-300
    낮은 위상차의 경우 표준 유형
    : O

  • PA-300-MT
    낮은 위상차의 경우 작은 유형
    : O

  • PA-micro
    낮은 위상차의 경우 현미경 유형
    : O

  • PA-micro-S
    낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형
    :

  • WPA-200-NIR
    넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형
    : O

  • PA-300-NIR
    낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형
    :

옵션 - 광시야보정기능
  • PA-300-XL
    낮은 위상차의 경우 초대형 유형
    : O

  • PA-300L
    낮은 위상차의 경우 큰 유형
    : O

  • PA-300
    낮은 위상차의 경우 표준 유형
    : O

  • PA-300-MT
    낮은 위상차의 경우 작은 유형
    : O

  • PA-micro
    낮은 위상차의 경우 현미경 유형
    : 상담필요

  • PA-micro-S
    낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형
    : 필요

  • WPA-200-NIR
    넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형
    : O

  • PA-300-NIR
    낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형
    :

옵션 - 렌즈 분석기능
  • PA-300-XL
    낮은 위상차의 경우 초대형 유형
    : O

  • PA-300L
    낮은 위상차의 경우 큰 유형
    : O

  • PA-300
    낮은 위상차의 경우 표준 유형
    : O

  • PA-300-MT
    낮은 위상차의 경우 작은 유형
    : O

  • PA-micro
    낮은 위상차의 경우 현미경 유형
    : O

  • PA-micro-S
    낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형
    : O

  • WPA-200-NIR
    넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형
    : O

  • PA-300-NIR
    낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형
    :

옵션 - 실시간 분석기능
  • PA-300-XL
    낮은 위상차의 경우 초대형 유형
    : O

  • PA-300L
    낮은 위상차의 경우 큰 유형
    : O

  • PA-300
    낮은 위상차의 경우 표준 유형
    : O

  • PA-300-MT
    낮은 위상차의 경우 작은 유형
    : O

  • PA-micro
    낮은 위상차의 경우 현미경 유형
    : O

  • PA-micro-S
    낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형
    : O

  • WPA-200-NIR
    넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형
    : O

  • PA-300-NIR
    낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형
    :

옵션 - 외부제어기능
  • PA-300-XL
    낮은 위상차의 경우 초대형 유형
    : O

  • PA-300L
    낮은 위상차의 경우 큰 유형
    : O

  • PA-300
    낮은 위상차의 경우 표준 유형
    : O

  • PA-300-MT
    낮은 위상차의 경우 작은 유형
    : O

  • PA-micro
    낮은 위상차의 경우 현미경 유형
    : O

  • PA-micro-S
    낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형
    : O

  • WPA-200-NIR
    넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형
    : O

  • PA-300-NIR
    낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형
    :

옵션 - 파장분산 (CD) 모드
  • PA-300-XL
    낮은 위상차의 경우 초대형 유형
    : x

  • PA-300L
    낮은 위상차의 경우 큰 유형
    : x

  • PA-300
    낮은 위상차의 경우 표준 유형
    : x

  • PA-300-MT
    낮은 위상차의 경우 작은 유형
    : x

  • PA-micro
    낮은 위상차의 경우 현미경 유형
    : x

  • PA-micro-S
    낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형
    : x

  • WPA-200-NIR
    넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형
    : O

  • PA-300-NIR
    낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형
    : x

옵션 - WPA 고위상차기능
  • PA-300-XL
    낮은 위상차의 경우 초대형 유형
    : x

  • PA-300L
    낮은 위상차의 경우 큰 유형
    : x

  • PA-300
    낮은 위상차의 경우 표준 유형
    : x

  • PA-300-MT
    낮은 위상차의 경우 작은 유형
    : x

  • PA-micro
    낮은 위상차의 경우 현미경 유형
    : x

  • PA-micro-S
    낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형
    : x

  • WPA-200-NIR
    넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형
    : x

  • PA-300-NIR
    낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형
    : x

렌즈 측정 전용 스테이지
  • PA-300-XL
    낮은 위상차의 경우 초대형 유형
    : x

  • PA-300L
    낮은 위상차의 경우 큰 유형
    : 상담필요

  • PA-300
    낮은 위상차의 경우 표준 유형
    : O

  • PA-300-MT
    낮은 위상차의 경우 작은 유형
    : O

  • PA-micro
    낮은 위상차의 경우 현미경 유형
    : x

  • PA-micro-S
    낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형
    : x

  • WPA-200-NIR
    넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형
    : O

  • PA-300-NIR
    낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형
    : O

PA WPA-L용 차간커버
  • PA-300-XL
    낮은 위상차의 경우 초대형 유형
    : O

  • PA-300L
    낮은 위상차의 경우 큰 유형
    : O

  • PA-300
    낮은 위상차의 경우 표준 유형
    : O

  • PA-300-MT
    낮은 위상차의 경우 작은 유형
    : O

  • PA-micro
    낮은 위상차의 경우 현미경 유형
    : O

  • PA-micro-S
    낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형
    : O

  • WPA-200-NIR
    넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형
    : O

  • PA-300-NIR
    낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형
    : O

광탄섬계수 계측옵션
  • PA-300-XL
    낮은 위상차의 경우 초대형 유형
    : x

  • PA-300L
    낮은 위상차의 경우 큰 유형
    : x

  • PA-300
    낮은 위상차의 경우 표준 유형
    : x

  • PA-300-MT
    낮은 위상차의 경우 작은 유형
    : x

  • PA-micro
    낮은 위상차의 경우 현미경 유형
    :

  • PA-micro-S
    낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형
    : x

  • WPA-200-NIR
    넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형
    : x

  • PA-300-NIR
    낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형
    : x

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대표자명
서현배
사업자번호
123-81-75934
E-mail
support@is-soft.co.kr
Tel
031-346-5112
Fax
031-436-1420
본사
(우)15847 경기도 군포시 공단로 140번길 46 엠테크노센터 1003~1004호
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