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차세대 파워 반도체 검사 툴
PA Series
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유리,광학필름 등 빛이 투과되고 위상차가 낮은(λ/2) 재료의 내부 응력과 배향 구조를 실시간(동영상 가능) 으로 계측할 수 있는 편광 고속도 카메라
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CCD센서에 직선 편광자가 삽입 되어있어 회전형 편광판 불필요
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초고속 편광 이미지 센서 탑재로 타사 장비 대비 1,000배 빠른 측정 가능
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기존 계측기의 측정으로는 표현이 어려웠던 다양한 물리적 양과 특성을 시각화 및 정량화 가능
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편광 계측에 필요한 휘도 정보를 10,000fps/sec(최대) 습득 가능
- 출력
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위상 이동(nm)※, 축 방향(°) ※데이터 처리 옵션시 응력값[MPa]
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- 반복 재현성
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PA-300-XL
낮은 위상차의 경우 초대형 유형: α < 0.1nm -
PA-300L
낮은 위상차의 경우 큰 유형: α < 0.1nm -
PA-300
낮은 위상차의 경우 표준 유형: α < 0.1nm -
PA-300-MT
낮은 위상차의 경우 작은 유형: α < 0.1nm -
PA-micro
낮은 위상차의 경우 현미경 유형: α < 1.0nm -
PA-micro-S
낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형: 보증 없음 -
WPA-200-NIR
넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형: α < 1nm -
PA-300-NIR
낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형: α < 1nm
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- 작동 파장
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PA-300-XL
낮은 위상차의 경우 초대형 유형: 520nm -
PA-300L
낮은 위상차의 경우 큰 유형: 520nm -
PA-300
낮은 위상차의 경우 표준 유형: 520nm -
PA-300-MT
낮은 위상차의 경우 작은 유형: 520nm -
PA-micro
낮은 위상차의 경우 현미경 유형: 520nm -
PA-micro-S
낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형: 520nm -
WPA-200-NIR
넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형: 810nm, 850nm, 880nm -
PA-300-NIR
낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형: 850nm
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- 측정 범위
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PA-300-XL
낮은 위상차의 경우 초대형 유형: 0 - 130nm -
PA-300L
낮은 위상차의 경우 큰 유형: 0 - 130nm -
PA-300
낮은 위상차의 경우 표준 유형: 0 - 130nm -
PA-300-MT
낮은 위상차의 경우 작은 유형: 0 - 130nm -
PA-micro
낮은 위상차의 경우 현미경 유형: 0 - 130nm -
PA-micro-S
낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형: 보증 없음 -
WPA-200-NIR
넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형: 0 ~ 3500nm ※순수 석영을 측정한 경우 -
PA-300-NIR
낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형: 0 ~ 213nm
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- 해상도
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PA-300-XL
낮은 위상차의 경우 초대형 유형: 약 500만 화소 (2056x2464 pixels) -
PA-300L
낮은 위상차의 경우 큰 유형: 약 500만 화소 (2056x2464 pixels) -
PA-300
낮은 위상차의 경우 표준 유형: 약 500만 화소 (2056x2464 pixels) -
PA-300-MT
낮은 위상차의 경우 작은 유형: 약 500만 화소 (2056x2464 pixels) -
PA-micro
낮은 위상차의 경우 현미경 유형: 약 500만 화소 (2056x2464 pixels) -
PA-micro-S
낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형: 약 500만 화소 (2056x2464 pixels) -
WPA-200-NIR
넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형: 약 11만 화소 (288x384 pixels) -
PA-300-NIR
낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형: 약 500만 화소 (2056x2464 pixels)
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- 시야크기 - 표준 렌즈
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PA-300-XL
낮은 위상차의 경우 초대형 유형: 약 242x290mm ~ 약 360x480mm -
PA-300L
낮은 위상차의 경우 큰 유형: 약 37x44mm ~ 약 240x320mm -
PA-300
낮은 위상차의 경우 표준 유형: 약 30x36mm ~ 약 100x133mm -
PA-300-MT
낮은 위상차의 경우 작은 유형: 약 37x44mm ※설정 조건에 따라 다름 -
PA-micro
낮은 위상차의 경우 현미경 유형: 약 140x170μm ~ 약 3.5x4.2mm (x2, x5, x10, x20, x50) -
PA-micro-S
낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형: 현미경에 따라 다름 -
WPA-200-NIR
넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형: 약 27x36mm ~ 약 100x133mm -
PA-300-NIR
낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형: 약 30x36mm ~ 약 100x133mm
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- 시야크기 - 줌 렌즈
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PA-300-XL
낮은 위상차의 경우 초대형 유형: 비지원 -
PA-300L
낮은 위상차의 경우 큰 유형: 약 5.5x6.6mm ~ 약 25x30mm -
PA-300
낮은 위상차의 경우 표준 유형: 약 5.5x6.6mm ~ 약 25x30mm -
PA-300-MT
낮은 위상차의 경우 작은 유형: 약 7.0x8.4mm ~ 약 20.0x24.0mm -
PA-micro
낮은 위상차의 경우 현미경 유형: 약 70x80μm (x100은 선택 사항입니다) -
PA-micro-S
낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형: 현미경에 따라 다름 -
WPA-200-NIR
넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형: 약 3.0x4.0mm ~ 약 14.2x19.0mm -
PA-300-NIR
낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형: 약 5.5x6.6mm ~ 약 25x30mm
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- 본체 지수(WXDXH)-무게
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PA-300-XL
낮은 위상차의 경우 초대형 유형: 650×650×최대1930mm 약46kg -
PA-300L
낮은 위상차의 경우 큰 유형: 430×487×최대1166mm 약23kg -
PA-300
낮은 위상차의 경우 표준 유형: 270×337×최대631mm 약12kg -
PA-300-MT
낮은 위상차의 경우 작은 유형: 160×190×316mm 약4kg ※설정 조건에 따라 다름 -
PA-micro
낮은 위상차의 경우 현미경 유형: 270×500×610mm 약18kg -
PA-micro-S
낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형: 60×70×85mm 약 0.5kg -
WPA-200-NIR
넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형: 270×337×최대631mm 약 13kg -
PA-300-NIR
낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형: 270×337×최대631mm 약 12kg
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- 제품 내용
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제품 본체(PA-micro는 현미경 포함,PA-micro-S는 현미경을 포함하지 않습니다.), 조작용 PC, 소프트웨어(PA-View), 사용설명서
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- 옵션 - 줌 렌즈
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PA-300-XL
낮은 위상차의 경우 초대형 유형: x -
PA-300L
낮은 위상차의 경우 큰 유형: O -
PA-300
낮은 위상차의 경우 표준 유형: O -
PA-300-MT
낮은 위상차의 경우 작은 유형: O -
PA-micro
낮은 위상차의 경우 현미경 유형: 대물렌즈X100 -
PA-micro-S
낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형: -
WPA-200-NIR
넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형: O -
PA-300-NIR
낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형: O
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- 옵션 - 데이터 처리 기능
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PA-300-XL
낮은 위상차의 경우 초대형 유형: O -
PA-300L
낮은 위상차의 경우 큰 유형: O -
PA-300
낮은 위상차의 경우 표준 유형: O -
PA-300-MT
낮은 위상차의 경우 작은 유형: O -
PA-micro
낮은 위상차의 경우 현미경 유형: O -
PA-micro-S
낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형: -
WPA-200-NIR
넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형: O -
PA-300-NIR
낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형:
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- 옵션 - 광시야보정기능
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PA-300-XL
낮은 위상차의 경우 초대형 유형: O -
PA-300L
낮은 위상차의 경우 큰 유형: O -
PA-300
낮은 위상차의 경우 표준 유형: O -
PA-300-MT
낮은 위상차의 경우 작은 유형: O -
PA-micro
낮은 위상차의 경우 현미경 유형: 상담필요 -
PA-micro-S
낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형: 필요 -
WPA-200-NIR
넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형: O -
PA-300-NIR
낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형:
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- 옵션 - 렌즈 분석기능
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PA-300-XL
낮은 위상차의 경우 초대형 유형: O -
PA-300L
낮은 위상차의 경우 큰 유형: O -
PA-300
낮은 위상차의 경우 표준 유형: O -
PA-300-MT
낮은 위상차의 경우 작은 유형: O -
PA-micro
낮은 위상차의 경우 현미경 유형: O -
PA-micro-S
낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형: O -
WPA-200-NIR
넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형: O -
PA-300-NIR
낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형:
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- 옵션 - 실시간 분석기능
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PA-300-XL
낮은 위상차의 경우 초대형 유형: O -
PA-300L
낮은 위상차의 경우 큰 유형: O -
PA-300
낮은 위상차의 경우 표준 유형: O -
PA-300-MT
낮은 위상차의 경우 작은 유형: O -
PA-micro
낮은 위상차의 경우 현미경 유형: O -
PA-micro-S
낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형: O -
WPA-200-NIR
넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형: O -
PA-300-NIR
낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형:
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- 옵션 - 외부제어기능
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PA-300-XL
낮은 위상차의 경우 초대형 유형: O -
PA-300L
낮은 위상차의 경우 큰 유형: O -
PA-300
낮은 위상차의 경우 표준 유형: O -
PA-300-MT
낮은 위상차의 경우 작은 유형: O -
PA-micro
낮은 위상차의 경우 현미경 유형: O -
PA-micro-S
낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형: O -
WPA-200-NIR
넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형: O -
PA-300-NIR
낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형:
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- 옵션 - 파장분산 (CD) 모드
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PA-300-XL
낮은 위상차의 경우 초대형 유형: x -
PA-300L
낮은 위상차의 경우 큰 유형: x -
PA-300
낮은 위상차의 경우 표준 유형: x -
PA-300-MT
낮은 위상차의 경우 작은 유형: x -
PA-micro
낮은 위상차의 경우 현미경 유형: x -
PA-micro-S
낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형: x -
WPA-200-NIR
넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형: O -
PA-300-NIR
낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형: x
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- 옵션 - WPA 고위상차기능
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PA-300-XL
낮은 위상차의 경우 초대형 유형: x -
PA-300L
낮은 위상차의 경우 큰 유형: x -
PA-300
낮은 위상차의 경우 표준 유형: x -
PA-300-MT
낮은 위상차의 경우 작은 유형: x -
PA-micro
낮은 위상차의 경우 현미경 유형: x -
PA-micro-S
낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형: x -
WPA-200-NIR
넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형: x -
PA-300-NIR
낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형: x
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- 렌즈 측정 전용 스테이지
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PA-300-XL
낮은 위상차의 경우 초대형 유형: x -
PA-300L
낮은 위상차의 경우 큰 유형: 상담필요 -
PA-300
낮은 위상차의 경우 표준 유형: O -
PA-300-MT
낮은 위상차의 경우 작은 유형: O -
PA-micro
낮은 위상차의 경우 현미경 유형: x -
PA-micro-S
낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형: x -
WPA-200-NIR
넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형: O -
PA-300-NIR
낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형: O
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- PA WPA-L용 차간커버
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PA-300-XL
낮은 위상차의 경우 초대형 유형: O -
PA-300L
낮은 위상차의 경우 큰 유형: O -
PA-300
낮은 위상차의 경우 표준 유형: O -
PA-300-MT
낮은 위상차의 경우 작은 유형: O -
PA-micro
낮은 위상차의 경우 현미경 유형: O -
PA-micro-S
낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형: O -
WPA-200-NIR
넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형: O -
PA-300-NIR
낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형: O
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- 광탄섬계수 계측옵션
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PA-300-XL
낮은 위상차의 경우 초대형 유형: x -
PA-300L
낮은 위상차의 경우 큰 유형: x -
PA-300
낮은 위상차의 경우 표준 유형: x -
PA-300-MT
낮은 위상차의 경우 작은 유형: x -
PA-micro
낮은 위상차의 경우 현미경 유형: -
PA-micro-S
낮은 위상차의 경우 현미경 마운트 유형: x -
WPA-200-NIR
넓은 범위의 경우 근적외선 파장 유형: x -
PA-300-NIR
낮은 위상차의 경우 근적외선 파장 유형: x
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해당 제품에 대한
SOLUTION이 궁금하신가요?